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如何處理沸石轉(zhuǎn)輪中的VOCs廢氣殘留

作者:CEO 時(shí)間:2023-08-17

信息摘要:沸石轉(zhuǎn)輪中VOCs殘留的處理方法,目前對(duì)VOCs的末端處理方法包括冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體凈化等。我國(guó)防治VOCs的要求和力度逐步加強(qiáng),沸石旋轉(zhuǎn)吸附濃縮法處理低濃度廢氣成為許多企業(yè)的首選處理方案。在使

如何處理沸石轉(zhuǎn)輪中的VOCs廢氣殘留

如何處理沸石轉(zhuǎn)輪中的VOCs廢氣殘留

  沸石轉(zhuǎn)輪中VOCs殘留的處理方法,目前對(duì)VOCs的末端處理方法包括冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體凈化等。我國(guó)防治VOCs的要求和力度逐步加強(qiáng),沸石旋轉(zhuǎn)吸附濃縮法處理低濃度廢氣成為許多企業(yè)的首選處理方案。在使用過(guò)程中,揮發(fā)性有機(jī)化合物殘留在轉(zhuǎn)輪中,會(huì)導(dǎo)致沸石轉(zhuǎn)輪劣化,降低處理效率。如何避免和處理這樣的情況?為了減少沸石轉(zhuǎn)輪設(shè)備中揮發(fā)性有機(jī)化合物的殘留,應(yīng)改善揮發(fā)性有機(jī)化合物廢氣的入口質(zhì)量,提高脫附效率。

  廢氣預(yù)處理措施通常包括除塵、除濕、除霧、除高沸物等。根據(jù)待處理VOCs廢氣的實(shí)際情況,選擇合適的廢氣預(yù)處理措施。比如半導(dǎo)體的制造工藝對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的顆粒物有嚴(yán)格的要求,一般都是清潔車間。因此,有機(jī)廢氣中顆粒物的含量很小,通常不需要除塵預(yù)處理。

  1.廢氣預(yù)處理

  芯片制造生產(chǎn)過(guò)程中使用的主要有機(jī)原料通常具有低沸點(diǎn)和揮發(fā)性的特點(diǎn),但仍不排除少量高沸點(diǎn)物質(zhì),如汽提液的主要成分二甘醇胺(沸程218~224℃)。在高沸點(diǎn)物質(zhì)的處理過(guò)程中,可以增加冷凝、前期活性炭吸附等預(yù)處理裝置,避免VOCs廢氣中難以脫附的高沸點(diǎn)物質(zhì)進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪。高沸點(diǎn)的VOCs進(jìn)入廢氣管道后容易冷凝,從而增加廢氣的濕度。

  2.用高壓空氣吹掃

  在停機(jī)、檢查和維護(hù)期間,用高壓空氣吹掃沸石轉(zhuǎn)輪。但高壓空氣吹掃只能去除附著在沸石轉(zhuǎn)輪表面的灰塵,而VOCs有機(jī)物通常吸附在分子篩孔隙中,無(wú)法有效去除,需要配合上述其他處理方法進(jìn)行選擇。

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