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空氣過(guò)濾器

作者:CEO 時(shí)間:2023-01-10

信息摘要:20世紀(jì)90年代初,國(guó)外曾對(duì)高效過(guò)濾器玻纖濾紙的含硼問(wèn)題爭(zhēng)吵了一陣,隨后,過(guò)濾器的微量揮發(fā)元素成了芯片廠關(guān)注的事情。粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路,粉塵直接影響產(chǎn)品的成品率。當(dāng)今,半導(dǎo)體工業(yè)(芯片廠)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔,對(duì)空氣過(guò)濾器的要求也最苛刻。近幾年,國(guó)外出現(xiàn)了聚

空氣過(guò)濾器

空氣過(guò)濾器

  20世紀(jì)90年代初,國(guó)外曾對(duì)高效過(guò)濾器玻纖濾紙的含硼問(wèn)題爭(zhēng)吵了一陣,隨后,過(guò)濾器的微量揮發(fā)元素成了芯片廠關(guān)注的事情。粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路,粉塵直接影響產(chǎn)品的成品率。當(dāng)今,半導(dǎo)體工業(yè)(芯片廠)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔,對(duì)空氣過(guò)濾器的要求也最苛刻。

  近幾年,國(guó)外出現(xiàn)了聚四氟乙烯纖維高效過(guò)濾材料,這種材料沒(méi)有揮發(fā)物,但它是帶靜電的“駐極體”,少了個(gè)隱患,多了個(gè)麻煩,過(guò)濾后的空氣要進(jìn)行電中和以消除空氣中的離子。目前這種材料的價(jià)格偏高,大部分過(guò)濾器仍使用玻璃纖維濾紙。過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來(lái)源于粘結(jié)劑和清洗劑,為芯片廠供貨的過(guò)濾器廠商要在這上面下些功夫。

  衡量芯片集成度的指標(biāo)之一是“線寬”,即電路上導(dǎo)線的寬度。在以微米計(jì)算線寬的年代,人們說(shuō)制造環(huán)境對(duì)粉塵粒徑的限制是小于線寬的1/10,隨著線寬不斷變小,1/10之說(shuō)又變成了1/4、1/2。2002年,普通微機(jī)中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm,此時(shí)任何粉塵都可能損害電路,粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較已經(jīng)過(guò)時(shí)了。

  芯片廠傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”,車間的整個(gè)天花板上布滿高效過(guò)濾器,整個(gè)地面為回風(fēng)柵板?,F(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風(fēng)機(jī)的過(guò)濾裝置,即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達(dá)到足夠的潔凈度,只是在運(yùn)行管理和能耗上有所差異。

  不論是普通高效過(guò)濾器還是FFU,出廠前都要經(jīng)過(guò)逐臺(tái)掃描測(cè)試。國(guó)內(nèi)目前沒(méi)有掃描測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn),能擠進(jìn)芯片廠的過(guò)濾器廠家是按歐美標(biāo)準(zhǔn)對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行掃描測(cè)試的。芯片廠的人認(rèn)為,過(guò)濾器傳統(tǒng)檢驗(yàn)方法用的試驗(yàn)粉塵本身就是污染源,所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。

  空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵,但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大,普通過(guò)濾器就能將其過(guò)濾掉。有人說(shuō)搞電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸,可沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá),芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū),在過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢就是了。

  當(dāng)今的過(guò)濾技術(shù)可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零,你想要多干凈都能達(dá)到。當(dāng)芯片上的線寬小到0.5mm時(shí),人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害,于是,在線寬小于0.5mm的芯片廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學(xué)過(guò)濾器?;瘜W(xué)過(guò)濾器的原理和制造工藝并不復(fù)雜,它就是活性炭過(guò)濾器,但傳統(tǒng)的活性炭過(guò)濾器制造廠和**廠沒(méi)有搭上芯片廠這班車,芯片廠的化學(xué)過(guò)濾器大都是空調(diào)過(guò)濾器的制造廠家提供的。

  化學(xué)污染物的來(lái)源可能是:室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數(shù)情況下,設(shè)計(jì)師和現(xiàn)場(chǎng)人員也說(shuō)不清污染物的種類和濃度,因此,為他們提供的化學(xué)過(guò)濾器至少應(yīng)具有兩個(gè)特點(diǎn):廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。

  所謂廣譜吸附就是對(duì)什么都能多少吸附些,能有這種功能的就是最普通、最便宜的顆?;钚蕴?。如果能確定污染物種類,就可以對(duì)活性炭材料進(jìn)行有針對(duì)性的化學(xué)處理,以增強(qiáng)對(duì)特定污染物的吸附能力。過(guò)濾器供應(yīng)商有時(shí)還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)服務(wù),以幫助用戶確定化學(xué)過(guò)濾器的使用情況,這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過(guò)濾的專家,并與名氣大的化學(xué)實(shí)驗(yàn)室有密切的關(guān)系。

  半導(dǎo)體工業(yè)并非人們普遍認(rèn)為的“無(wú)煙工業(yè)”,它也有環(huán)境問(wèn)題。那里經(jīng)常采用最新的工藝和材料,有些化學(xué)物品在其安全性尚未得到評(píng)估前就已經(jīng)大量使用了,稍不小心就會(huì)造成嚴(yán)重的化學(xué)污染,既有地下水污染,也有空氣污染,硅谷就曾為此付出過(guò)驚人的代價(jià)。為了保險(xiǎn),有些企業(yè)在排風(fēng)系統(tǒng)中也使用化學(xué)過(guò)濾器。

  遺憾的是,國(guó)內(nèi)過(guò)濾器廠商沒(méi)有幾家在那上面下功夫,所以國(guó)內(nèi)芯片廠目前使用的化學(xué)過(guò)濾器多數(shù)是進(jìn)口產(chǎn)品。中國(guó)正處在新一輪芯片廠建設(shè)的狂熱中,為此,今后幾年國(guó)內(nèi)需要數(shù)億元的高效過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器,如果國(guó)內(nèi)過(guò)濾器商家像以往那樣只熱衷于抄襲、猜疑、各顧各地瞎忙活,不在技術(shù)上進(jìn)取、不相互交流,芯片廠這個(gè)難得的市場(chǎng)將屬于外來(lái)者。

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