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知識(shí):轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)在潔凈室行業(yè)的應(yīng)用

作者:CEO 時(shí)間:2023-01-11

信息摘要:1.引言隨著科技的進(jìn)步和產(chǎn)品技術(shù)的不斷提升以及中國(guó)對(duì)外開放的深入,大批的外資企業(yè)在中國(guó)設(shè)立其制造基地,特別是近年來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)的大舉進(jìn)入,其全新的生產(chǎn)工藝及生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)環(huán)境溫、濕度、潔凈度的較高要求,需要我們提供一個(gè)比較有效且比較低能耗的空調(diào)系統(tǒng),特別需要有低濕度的空調(diào)環(huán)境保證。目前,空氣除濕主要

知識(shí):轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)在潔凈室行業(yè)的應(yīng)用

知識(shí):轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)在潔凈室行業(yè)的應(yīng)用

  1.引言

  隨著科技的進(jìn)步和產(chǎn)品技術(shù)的不斷提升以及中國(guó)對(duì)外開放的深入,大批的外資企業(yè)在中國(guó)設(shè)立其制造基地,特別是近年來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)的大舉進(jìn)入,其全新的生產(chǎn)工藝及生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)環(huán)境溫、濕度、潔凈度的較高要求,需要我們提供一個(gè)比較有效且比較低能耗的空調(diào)系統(tǒng),特別需要有低濕度的空調(diào)環(huán)境保證。

  目前,空氣除濕主要有四種方式,通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕系統(tǒng)中,冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環(huán)境對(duì)濕度要求不是很高(RH≯60~65%)的條件下,效果還是比較好,性能穩(wěn)定且能耗也比較低,目前應(yīng)用比較廣泛。但在生產(chǎn)環(huán)境對(duì)濕度要求較高(RH=45±5%)的地方,采用冷卻除濕就明顯是不經(jīng)濟(jì)的。采用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī),將不受空氣露點(diǎn)影響,且除濕量大,特別適用于低濕條件下,但如果全部除濕僅采用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行,由于其再生耗能量也比較大,此種方案也不是最經(jīng)濟(jì)的。由于轉(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長(zhǎng),將其優(yōu)化組合,各取所長(zhǎng),互補(bǔ)所短,會(huì)更好的發(fā)揮其效能。

  2.濕度在半導(dǎo)體行業(yè)中的要求

  半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下,生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境,特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求,由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響,其對(duì)濕度的精度提出了嚴(yán)格要求,對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)的配置,則要求系統(tǒng)同時(shí)具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。

  一般的,半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為:T=22±2℃,RH=45±5%;而對(duì)于這個(gè)溫濕度要求,傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進(jìn)行處理,并取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個(gè)致命問(wèn)題,冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi),特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng),大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況,使得這個(gè)問(wèn)題十分突出。

  因此,在最新的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過(guò)后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式,達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求,并取得了顯著收益。

  3.工程實(shí)例

  一、設(shè)計(jì)條件及要求:

  a、室內(nèi)要求:T=22±2℃;RH=50±5%;TL=11.5℃;d=8g/kg;

  b、潔凈級(jí)別:10K(級(jí));

  c、體積:S=2000m2;H=2.8m;

  d、工作人員:30名,車間無(wú)工藝濕負(fù)荷;

  e、新風(fēng)量:9500m3/h;

  f、送風(fēng)量:m3/h,正壓5~10PA;

  g、室外環(huán)境條件:T=35℃;RH=70%;d=25g/kg;

  二、空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案及優(yōu)缺點(diǎn):

  a、方案A:新風(fēng)機(jī)組(MAHU)+組合式空氣處理機(jī)組(AHU),其空氣處理過(guò)程如下:

  新風(fēng)過(guò)濾經(jīng)表冷處理后與房間回風(fēng)混合,再經(jīng)表冷器處理到機(jī)器露點(diǎn)(TL=12℃)后再加熱至送風(fēng)溫度(T=18.5℃)后,統(tǒng)一送風(fēng)到車間。

  分析如下:由于車間內(nèi)部的露點(diǎn)溫度為11.5℃,并且設(shè)計(jì)條件中車間內(nèi)無(wú)其他工藝濕負(fù)荷。根據(jù)這種條件,我們假定車間內(nèi)部沒(méi)有任何產(chǎn)濕量,則需要送風(fēng)露點(diǎn)和車間相同為11.5℃,這時(shí)對(duì)于新風(fēng)和回風(fēng)達(dá)到11.5℃露點(diǎn)所需要的冷量為:

  新風(fēng)冷負(fù)荷:9500*1.2*(101.2-32.2)/3600=162Kw;(新風(fēng)預(yù)冷至18℃,95%)

  回風(fēng)冷負(fù)荷:*1.2*(44-33)/3600=440Kw

  總計(jì):162+440=602Kw;

  而在處理空氣露點(diǎn)溫度達(dá)到車間露點(diǎn)溫度后,需要進(jìn)行加熱補(bǔ)償,以保證送風(fēng)溫度的要求,這時(shí)所需要的再熱量為:

  再熱負(fù)荷:*1.2*(39.8-33)/3600=272Kw

  總能耗為:冷:602Kw.

  熱:272Kw.

  從上述分析和計(jì)算可得出,能耗抵消為:272Kw

  但實(shí)際上,車間內(nèi)部由于人員的工作,維護(hù)結(jié)構(gòu)的內(nèi)外的水蒸汽分壓力差以及車間門的開啟等因素,車間內(nèi)不可避免的存在濕負(fù)荷,這就要求送風(fēng)露點(diǎn)溫度應(yīng)略低于車間內(nèi)部露點(diǎn)溫度,這會(huì)導(dǎo)致更大的冷熱能耗抵消。

  一般的,由于新風(fēng)的焓值非常高,無(wú)法通過(guò)新風(fēng)表冷器直接將新風(fēng)冷卻到11℃露點(diǎn)溫度。所以經(jīng)常采用新風(fēng)和回風(fēng)混合后,再表冷器處理的方法進(jìn)行操作。

  同時(shí),這種空調(diào)系統(tǒng)不僅要求在夏季可以同時(shí)滿足制冷(控溫和除濕)和供熱(滿足濕度要求)功能;并要求在某些過(guò)渡季節(jié)甚至冬季同樣需要開啟制冷機(jī)組,目的僅僅是除濕(對(duì)新風(fēng)進(jìn)行降溫除濕)。而后再通過(guò)后加熱補(bǔ)償?shù)姆绞?,重新控制室?nèi)的溫度要求,浪費(fèi)了大量的能源。更為嚴(yán)重的是,在某些情況下,后加熱的配置量往往偏低,特別是后加熱器采用電加熱時(shí),這種情況更為常見(jiàn)。這時(shí)的空氣因無(wú)法得到足夠高的送風(fēng)溫度而導(dǎo)致車間內(nèi)部的相對(duì)濕度偏高,這種情況下,要求制冷機(jī)組需要將送風(fēng)露點(diǎn)(溫度)進(jìn)一步降低,而在送風(fēng)露點(diǎn)下降時(shí),溫度隨之下降從而導(dǎo)致車間內(nèi)部的濕度無(wú)法得到嚴(yán)格保證。

  對(duì)于制冷機(jī)組,需要將空氣處理到11℃露點(diǎn)溫度,因此要求冷水溫度一般為5~10℃。但在這種工況下,制冷機(jī)組的效率也往往會(huì)有所衰減,從而需要配置較大容量的制冷設(shè)備,引起初投資的增加。

  b.方案B:新風(fēng)機(jī)組(MAHU)+轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)組(Dehumidifier)+組合式空氣處理機(jī)組(AHU),其空氣處理過(guò)程如下:

  新風(fēng)過(guò)濾,經(jīng)過(guò)新風(fēng)表冷器,一般處理到18℃露點(diǎn),之后經(jīng)過(guò)轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行等焓除濕(空氣露點(diǎn)為4℃,d=5.2g/kg,T=42℃);除濕后的干熱空氣再和回風(fēng)混合后(T=23.5℃,d=7.9g/kg),通過(guò)后表冷器進(jìn)行干工況降溫處理到送風(fēng)溫度(18.5℃),送風(fēng)到車間。能耗為:

  新風(fēng)表冷冷負(fù)荷:9500*1.2*(101.2-50)/3600=162Kw

  除濕機(jī)能耗:125Kw

  后空調(diào)冷負(fù)荷:*1.2*1.005*(23.5-18.5)/3600=201Kw

  總能耗為:冷:363Kw.

  熱:125Kw.

  c.方案比較:

  除濕方式

  傳統(tǒng)冷凍除濕+后加熱系統(tǒng)

  轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)系統(tǒng)

  新風(fēng)表冷能耗

  162Kw

  162Kw

  后表冷器能耗

  440Kw

  201Kw

  電加熱能耗

  272Kw

  125Kw

  總能耗(折算為電能)

  383.8Kw

  193Kw

  由上述分析和計(jì)算可得出,使用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)系統(tǒng)和傳統(tǒng)的冷凍除濕機(jī)+后加熱器方式,能耗節(jié)約為45%左右。同時(shí),由于轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)可以將新風(fēng)進(jìn)一步除濕干燥,以抵消車間的其他室內(nèi)濕負(fù)荷,尤其是在系統(tǒng)初期調(diào)試及房間發(fā)熱量不足(即生產(chǎn)開工不足)期間,這種系統(tǒng)運(yùn)行更加可靠,安全性更好,完全可以滿足半導(dǎo)體潔凈車間全天候的生產(chǎn)要求。

  4.轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)系統(tǒng)的特性

  轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕空調(diào)系統(tǒng),就是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環(huán)系統(tǒng)與轉(zhuǎn)輪除濕相結(jié)合,利用制冷系統(tǒng)的吸熱除濕進(jìn)行前期除濕,而利用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行深度除濕。冷卻除濕在一定的范圍內(nèi)除濕效果好,且性能穩(wěn)定,但當(dāng)濕度要求較低時(shí),冷卻除濕的能力明顯下降,此時(shí)選用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕系統(tǒng),可以達(dá)到很好的效果。冷卻除濕作為前期除濕,突出了冷卻除濕機(jī)高露點(diǎn)工況下能耗低的特點(diǎn),利用轉(zhuǎn)輪除濕進(jìn)行深度除濕,突出了轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)低溫低濕條件下,不受露點(diǎn)限制且除濕量大的優(yōu)點(diǎn)。

  

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